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光伏

微導高效晶硅太陽能電池制造的解決方案


在不斷增加的高效率、低成本晶硅太陽能電池市場需求驅動下, 微導為單、多晶高效太陽能電池技術提供高性能ALD鈍化和RIE制絨生產解決方案。與傳統的鋁背場電池相比,微導光伏技術適用于多種高效晶硅太陽能電池生產線的新建、改造和升級, 可以將太陽能電池轉換效率進一步提升1%以上。微導光伏產品具有自有專利技術, 并能與集團先進的經過多年產業化驗證的自動化系統高度無縫集成, 為高效太陽能電池的制造提供完整的解決方案。微導為光伏電池生產提供技術先進、使用成本低的產業化系統。




夸父系列原子層沉積鍍膜系統

微導的夸父系列工業批量型原子層沉積(ALD)系統采用自主知識產權的反應腔體設計和先進的薄膜沉積技術, 確保為晶硅太陽能電池表面鈍化提供高質量超薄三氧化二鋁鈍化膜。微導全自動高級夸父系列ALD系統為光伏產業化高效電池提供超高產能的同時, 可降低設備的運營成本,為客戶提供可靠的量產解決方案。




工藝材料
工藝溫度
薄膜厚度均勻度
產能
運行率
破片率
維護周期
技術參數
Al2O3
SiO2, 可選
150-300(
片內:≤1%
片與片:≤2%
批與批:≤2%
4000
(片/小時,10 nm)
≥96%
≤0.1%
>6月


后羿系列板式化學氣相沉積/原子層沉積鍍膜系統

微導HY4000系統結合了空間CVD和ALD技術和專有的上下料自動化可進行自動在線三氧化二鋁薄膜鈍化層工藝。專用于大批量生產單面鈍化層,后羿系統可提供高質量的鈍化膜和低生產成本。與“黑硅”技術相結合, 微導為進一步增強PERC電池為基礎的太陽能電池的轉換效率提供了解決方案。




工藝材料
工藝溫度
薄膜厚度均勻度
產能
運行率
破片率
維護周期(天)
技術參數
Al2O3 150 - 300  (℃) 片內: ≤3%
片與片: ≤3%
批與批: ≤3%
4000 (片/小時,10 nm) ≥95%
≤0.1%
20天

WR系列RIE“黑硅”系統


微導WR5400反應離子刻蝕(RIE)系統具有全自動在線RIE“黑硅”工藝處理功能以及專有上下料配套設備,是微導創新的設計結合高性能等離子體系統,使產品具有工藝腔體高度防腐、高產能(最高可達5400片/小時)和維護周期長(> 30天)等特點。搭配金剛線切割技術可為多晶光伏電池提供既降低成本又提升效率的絕佳方案。微導RIE黑硅與背鈍化技術的結合,為多晶光伏PERC電池效率突破20%的提供量產方案。




工藝材料
工藝溫度
制絨后反射
產能
運行率
破片率
維護周期
技術參數
SF6, Cl2,O2  室溫
≤10%
5400片/小時
≥95%
≤0.1%
>30天


客戶化的解決方案



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